A MEMS-based oscillator with synchronous amplitude control

机译：基于MEMS的振荡器，具有同步幅度控制

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This paper describes the design and simulation of a MEMS-based oscillator with a silicon tuning fork as frequency selective element. The interface electronics include a synchronous amplitude control circuit that allows for precise control of oscillation amplitude. The nominal oscillation frequency is 1.8 MHz. The structure has been implemented using a 0.35 μm High Voltage CMOS process and operates with a nominal supply of 3.3V.

机译：本文介绍了具有硅调谐叉作为频率选择元件的MEMS的振荡器的设计和仿真。界面电子包括同步幅度控制电路，允许精确控制振荡幅度。标称振荡频率为1.8 MHz。该结构已采用0.35μm高压CMOS工艺实施，并以3.3V的标称供应操作。

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来源
《Conference on Ph. D. Research in Microelectronics and Electronics》|2013年||共4页
会议地点
作者
Gronicz Jakub; Chekurov Nikolai; Aaltonen Lasse; Halonen Kari;
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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词

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