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采用MEMS技术的硅振荡器具有高稳定性和低成本

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SiRes系列硅振荡器包括SiT1xxx固定频率及SIT8002可编程频率的硅振荡器，采用MEMS First及EpiSeal CMOS兼容工艺生产，体积比石英振荡器的体积小1000倍，每年的老化程度为±2×10^-6．

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来源
《今日电子》 |2006年第5期|89-89|共1页
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正文语种 chi
中图分类高频振荡器;
关键词
石英振荡器; MEMS技术; 高稳定性; 成本; 器具; 硅; CMOS兼容; 固定频率;

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