Poly-SiGe; piezoresistivity; pressure sensor;
机译:CMOS兼容的多晶硅锗基压力传感器
机译:通过与CMOS工艺兼容的表面微加工工艺制造的压阻式压力传感器
机译:基于压阻效应各向异性的CMOS兼容应力传感器的PSpice模型
机译:CMOS兼容多晶硅锗基压阻式压力传感器
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:基于CMOS兼容AlN / SiO2 / Si多层结构的VOC Sezawa模式SAW传感器的有限元分析。
机译:低压降,CMOS兼容的液体流量传感器,分辨率低于ml / h
机译:用于压阻式压力传感器的集成CmOs电路,重点是热灵敏度偏移补偿