nanochannels; nanofluidic system; free-standing SU-8;
机译:通过使用pH响应微凝胶作为牺牲层来制作独立式多层膜
机译:自立式聚电解质多层膜的制造:使用含聚磺基甜菜碱的膜作为牺牲层的方法
机译:基于采用新的牺牲层工艺制成的自支撑厚膜的微系统元件
机译:牺牲层和支撑层技术用于制造超薄独立式PEDOT:PSS纳米型
机译:具有集成感应电极的快速生物分子表征的纳米流体系统的设计和制造
机译:用HVPE使用组合缓冲层在蓝宝石上制造2英寸独立的GaN衬底
机译:B8.3 - 牺牲层在柔性聚合物基材上的模块化微传感器制造中的应用
机译:在HpVE生长的模板和自支撑GaN衬底上的N型GaN层的mOCVD生长和蚀刻