基于熔融沉积牺牲层工艺的微流道制造技术研究

摘要

微流道的加工是微流控芯片、微反应器等MEMS器件的核心。针对现阶段微流道的制造存在速度慢、柔性差等缺点,提出了基于熔融沉积牺牲层工艺的微流道制造方法,对该方法沉积牺牲层的形状影响因素进行了研究.经过比较选取麦芽糖醇作为牺牲层材料,通过搭建实验平台,研究进气压力、加热温度和平台进给速度对糖丝沉积形状的影响.同时,分析比较沉积的糖丝和以此为牺牲层材料制造的微流道的形状差异.实验结果表明:选择麦芽糖醇作为牺牲层材料能够满足微流道的加工需要,结合理论分析得到沉积糖丝的横截面积与进气压力、加热温度以及平台进给速度的关系。