critical dimension (CD) metrology; scanning electron microscopy (SEM); CD-SEM; Monte Carlo (MC) modeling; simulation;
机译:临界尺寸扫描电子显微镜的蒙特卡罗模拟提取纳米级粗糙度参数
机译:用于线宽测量的侧壁形状的扫描电子显微镜图像的蒙特卡洛模拟
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机译:临界尺寸扫描电子显微镜中线宽测量的新型蒙特卡罗模拟代码
机译:蒙特卡洛模拟程序的开发,用于电子,重离子,光子和中子对水的辐射分解。应用于实验感兴趣的各个主题。
机译:用赌场蒙特卡罗软件模拟三维电子显微镜模拟
机译:扫描透射电子显微镜中电子散射的蒙特卡洛模拟