AlN; Helicon sputtering system; UV detector; surface acoustic wave (SAW) oscillators;
机译:在GaN /蓝宝石上使用低温生长的AlN膜作为UV传感器制造的表面声波振荡器的适用性
机译:AlN缓冲层厚度对R平面蓝宝石基板上生长的10-PRRS厚的A平面ALN薄膜结晶和表面形态的影响
机译:a面蓝宝石衬底上的AlN薄膜中表面声波特性的角度依赖性
机译:使用在蓝宝石基板上生长的单晶ALN薄膜上制造的表面声波振荡器的深紫外线传感器
机译:通过低能电子衍射确定过渡金属单晶表面上生长的晶体离子薄膜的表面结构。
机译:SC0.09Al0.91N和SC0.18A10.82N的外延生长通过磁控溅射对表面声波应用的磁控溅射薄膜
机译:具有纳米级厚的Aln成核层对基于Algan的深紫外发光二极管的纳米级厚的Aln成核膜的高质量和无裂缝Aln膜的异质生长
机译:在蓝宝石衬底上使用mOCVD ZnOpeompressive薄膜开发高频声表面波器件