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机译:在GaN /蓝宝石上使用低温生长的AlN膜作为UV传感器制造的表面声波振荡器的适用性
III-V semiconductors; aluminium compounds; sapphire; semiconductor thin films; sputtering; surface acoustic wave oscillators; ultraviolet detectors; wide band gap semiconductors; AIN/GaN/sapphire; AlN; GaN-Al2O3; UV sensors; helicon sputtering;
机译:使用在GaN /蓝宝石上低温生长的AlN薄膜制造的层状结构SAW器件的研究
机译:a面蓝宝石衬底上的AlN薄膜中表面声波特性的角度依赖性
机译:使用低温螺旋溅射系统在GaN /蓝宝石上制备外延A1N薄膜表面声波器件
机译:使用在蓝宝石衬底上生长的单晶AlN膜上制造的表面声波振荡器的深紫外传感器
机译:使用氧化锌和氧化锡薄膜的高温无线表面声波气体传感器。
机译:SC0.09Al0.91N和SC0.18A10.82N的外延生长通过磁控溅射对表面声波应用的磁控溅射薄膜
机译:用于高温包装声波装置的ALN / GAN / SAPPHIRE异质结构
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)