microchips; 193-nm lithography; antireflective coating; thermosetting; compatibility; conformality;
机译:了解界面附近光刻图案的偏差:底部抗反射涂层(BARC)和BARC抗蚀剂界面的表征
机译:一种制备具有改善的抗反射稳定性的无裂纹的厚抗反射二氧化硅涂层的简单方法
机译:具有改善的开放时间的水性颜料涂料组合物,其包含可交联的低聚物和分散的聚合物
机译:改进的可交联聚合物粘合剂193nm底抗反射涂层(BARC)
机译:液晶聚合物作为热固性涂料的可交联粘合剂
机译:注射纳米成型和多层膜的光学性能可快速复制和轻松调制亚波长抗反射聚合物膜
机译:改善钙钛矿光伏的无序聚合物抗反射涂层