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机译:表面微机械的组装和测试,压阻式多晶硅压力传感器
机译:通过铝诱导结晶获得的纳米晶压阻多晶硅膜,用于压力传感应用。
机译:具有屏蔽层的微机械压阻式压力传感器
机译:用于微型电容器的压敏表面微型三轴力传感器的设计
机译:微电子与表面微加工多晶硅传感器和执行器单片集成的材料和加工问题