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MICROMACHINED ULTRA-MINIATURE PIEZORESISTIVE PRESSURE SENSOR AND METHOD OF FABRICATION OF THE SAME

机译：微机械超微型压阻式压力传感器及其制造方法

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摘要

A method of fabrication of one or more ultra-miniature piezoresistive pressure sensors on silicon wafers is provided. The diaphragm of the piezoresistive pressure sensors is formed by fusion bonding. The piezoresistive pressure sensors can be formed by silicon deposition, photolithography and etching processes.

机译：提供了一种在硅晶片上制造一个或多个超小型压阻压力传感器的方法。压阻式压力传感器的膜片通过熔接形成。压阻压力传感器可以通过硅沉积，光刻和蚀刻工艺形成。

著录项

公开/公告号US2016039661A1

专利类型
公开/公告日2016-02-11

原文格式PDF
申请/专利权人 BIN QI;
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申请/专利号US201514882408
发明设计人 BIN QI;
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申请日2015-10-13
分类号B81B3;G01L9;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:38:09

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