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Characterization of capacitive micromachined ultrasonic transducers in air using optical measurements

机译：使用光学测量表征空气中的电容式微加工超声换能器

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来源
《》|2000年|P.947-950|共4页
会议地点
作者
Hansen; S.T.; Turo; A.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术 ;
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