silicon; elemental semiconductors; porous semiconductors; barium compounds; strontium compounds; ferroelectric materials; ferroelectric thin films; infrared detectors; micromachining; infrared imaging; MOSFET; monolithic dielectric BST infrared sensor arrays; silicon-ferroelectric integration; porous silicon micromachining; thin film ferroelectrics integration processes; uncooled infrared imaging sensor arrays; MOSFET IC processes; metal oxide semiconductor FET; integrated circuit processes; IR image; infrared image; 3.3 ms; BaSrTiO/sub 3/; Si;
机译:基于改进的多孔硅微加工技术的集成a-Si:B微辐射热计阵列
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机译:在p(+)硅/多孔硅衬底上具有ESD保护的低通滤波器的单片集成
机译:单片电介质BST红外传感器阵列,使用基于改进的多孔硅微机械的新型硅 - 铁电集成方案
机译:多孔低介电常数电介质的增强的可集成性,以提高铜基互连中的可靠性。
机译:用于生化传感器应用的互补金属氧化物半导体芯片上的硅纳米线场效应晶体管阵列的单片集成
机译:<标题>用表面微机械的多晶硅传感器和致动器的微电子单片集成的材料和处理问题标题>
机译:微电子与表面微加工多晶硅传感器和执行器单片集成的材料和加工问题