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机译:TPMS(轮胎压力监测系统)传感器:表面微机械压阻式压力传感器和可自测加速度计的单片集成
机译:表面微机械多晶硅镜和标准CMOS工艺的集成
机译:前言:材料和制造过程专刊:“传感器,执行器和智能处理”
机译:微电子与表面微加工的多晶硅传感器和执行器的单片集成的材料和处理问题
机译:CMOS技术中的微电子和微机械传感器与执行器:一种针对正则化和集成的新颖方案。
机译:编辑为特殊问题的2D纳米材料加工和集成在小型化装置中的集成
机译:<标题>具有表面微磁体多晶硅致动器的波导结构的单片集成标题>
机译:微电子与表面微加工多晶硅传感器和执行器单片集成的材料和加工问题