silicon; etching; integrated circuit manufacture; oxidation; elemental semiconductors; amorphous semiconductors; semiconductor thin films; poly etching process; amorphous polysilicon film deposition; pits defect; poly gate etching recipe; polysilicon fil;
机译:一种多功能电沉积电池构造的开发和应用,用于研究晶片样品上电镀工艺及扫描电化学显微镜表征表面膜
机译:电子顺磁共振和阴极发光研究化学气相沉积同质外延金刚石膜中与氢空位有关的缺陷
机译:通过两步PLD工艺在单晶LaAlO_3上生长的外延SrTiO_3薄膜中的生长模式诱导缺陷
机译:在OD Pits缺陷上对多晶硅薄膜沉积进行多蚀刻过程
机译:各种氧化物薄膜原子层沉积和热原子层蚀刻工艺的机械研究
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
机译:电子顺磁共振和阴极发光研究化学气相沉积同质外延金刚石膜中与氢空位有关的缺陷
机译:用于脉冲激光沉积薄膜的热,电子,流体动力学和动态沉积过程的建模