机译:使用近场扫描光学光刻和硅各向异性湿法刻蚀工艺制备高纵横比的硅纳米结构
机译:圆柱形超声线性微执行器的驱动机理,设计,制造过程和实验
机译:高纵横比聚对二甲苯基梳齿驱动执行器的设计和制造,可在低驱动力下实现大排量
机译:用高纵横比驾驶间隙的金属和硅微致动力的制造
机译:从表面加工氮化硅上的异质双晶型物衍生而来的微致动器系统的制造和建模。
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:用于先进分段硅空间望远镜的大型垂直行程硅Inchworm微致动器的设计与制作
机译:用于先进分段硅空间望远镜(assIsT)的大型垂直行程硅尺寸微致动器的设计和制造