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【24h】

Proceedings of International Workshop on Numerical Modeling of processes and Devices for Integrated Circuits: NUPAD V

机译:集成电路工艺和器件数值建模国际研讨会论文集:NUPAD V

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摘要

The following topics were dealt with: device modelling; equipment simulation; process simulation; numerical methods; applications; grid methods;.
机译:处理了以下主题:设备建模;设备仿真;过程模拟;数值方法应用;网格方法;

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