RIEC, Tohoku University, Sendai, 980-8577, Japan;
机译:带有纳米晶金属薄膜的晶片的原子扩散键合
机译:带有纳米晶金属薄膜的晶片的原子扩散键合
机译:高度共形的纳米晶氮化钼薄膜通过原子层沉积作为对Cu的扩散阻挡层
机译:用薄纳米晶金属膜在真空中和惰性气体中的原子扩散键合
机译:薄膜纳米晶金属塑性应变恢复和蠕变的研究
机译:弱相互作用基板上金属薄膜生长过程中的原子尺度扩散速率
机译:用薄纳米晶金属膜的晶片室温键合及其在设备制造中的应用