SNR 70dB 超のCMOS イメージセンサと半値幅10nm のチューナブルマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステム

摘要

高い信号対雑音比(SNR)と広光波長帯域において高い感度を有するCMOS イメージセンサ(CIS)と，透過ピーク波長rnを狭い半値幅で電気的に可変なマルチバンドパスフィルタを用いた分光イメージングシステムについて述べる．設計・試作したrnイメージセンサが71dB のSNR，1.5107 e- の飽和電荷数(FWC)，190-1100nm における高い量子効率を達成していることを確認rnした．また，開発したチューナブルマルチバンドパスフィルタが630nm，800nm，960nm，1050nm の4 波長をそれぞれ10nm のrn半値幅で選択可能であることを示した．構築したイメージングシステムを用い，Si の感度波長帯域で水とグルコースの吸収が起rnきる960nm と1050nm の2 波長で5mg/dl のグルコースが生理食塩水中を拡散する様子を撮影することに成功した．