Implementation of a system for metal contamination control based on classification criteria

机译：基于分类标准的金属污染控制系统的实现

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Based on criteria that describe the impact, control and exposure of contaminants, a system for contamination control has been set up. The system is used to guide the introduction of new materials into IMEC's 200mm process line, and is fully implemented to regulate the flow of contaminated wafers in the 300mm cleanroom.

机译：基于描述污染物的影响，控制和暴露的标准，建立了污染控制系统。该系统用于指导将新材料引入IMEC的200毫米生产线，并已完全实施以调节300毫米无尘室中被污染的晶片的流量。

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来源
《International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces;UCPSS; 20060918-20;20060918-20; Antwerp(BE);Antwerp(BE)》|2006年|P.259261262|共3页
会议地点 Antwerp(BE);Antwerp(BE)
作者
Twan Bearda; Gabriela Catana; David Hellin; Rita Vos;
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作者单位

IMEC, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类材料;
关键词
metal contamination; contaminant classification; contamination control;

机译：金属污染;污染物分类;污染控制;

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