Microsystems Technology Laboratories Massachusetts Institute of Technology Cambridge, MA 02139;
Microsystems Technology Laboratories Massachusetts Institute of Technology Cambridge, MA 02139;
Microsystems Technology Laboratories Massachusetts Institute of Technology Cambridge, MA 02139;
University of Michigan Display Technology Manuf. Bldg. 2360 Bonisteel, Ann Arbor, MI 48109-2109;
University of Michigan Display Technology Manuf. Bldg. 2360 Bonisteel, Ann Arbor, MI 48109-2109;
Statistical Methods and Advanced Process Control SEMATECH 2706 Montopolis Dr., Austin, TX 78741-6499;
Statistical Methods and Advanced Process Control SEMATECH 2706 Montopolis Dr., Austin, TX 78741-6499;
Compugenesis, Inc. 10605 Walpole Lane, Austin, TX 78739-1554;
机译:在分子尺度上进行化学机械抛光的材料去除和化学机械协同作用的数学模型
机译:基于神经Taguchi的化学机械抛光过程的准时间优化控制策略
机译:取决于设备的介电膜化学机械抛光控制
机译:用于III-V晶圆键合应用的化学机械抛光:抛光,粗糙度和无磨料抛光模型
机译:使用总体平衡模型对化学机械抛光中的垫磨损和垫修整进行建模。
机译:KDP油包水型微乳液用于KDP晶体的超精密化学机械抛光
机译:1运行控制化学机械抛光