TU Dresden, Germany;
Substrates; X-ray scattering; Complex oxide film deposition; PZT; composition profile; flexible polymer substrate; multitarget reactive sputtering; piezoresponse force microscopy;
机译:压电混合氧化物薄膜在柔性基板上的多次溅射
机译:Kapton衬底支撑的氧化铟锡(ITO)蛇形薄膜的可拉伸性
机译:反应溅射沉积氧化物薄膜:溅射功率和衬底温度对微观结构,形态和电性能的影响
机译:将含PZT的混合氧化物薄膜溅射在铜涂层的Kapton基材上的多元溅射
机译:通过轧制溅射沉积工艺沉积在柔性玻璃基板上的氧化铟锌,氧化铟锡和钼薄膜的表征
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:衬底温度对氧气和水在氢气中反应溅射制备氧化钴和羟基氧化物薄膜电致变色性能的影响