Design and optimization of a novel 2-D optical excited self-resonant microaccelerometer

机译：新型二维光激发自谐振微加速度计的设计与优化

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A novel 2-D optical excited self-resonant microaccelerometer is presented. And its optical characteristics are discussed in theory. Based on genetic algorithm, the thickness of the polysilicon microbeam and the height of the vacuum cavity are optimized to obtain the optimum of light transmissivity.

机译：提出了一种新型的二维光学激发自谐振微加速度计。并对其光学特性进行了理论讨论。基于遗传算法，优化了多晶硅微束的厚度和真空腔的高度，以获得最佳的透光率。

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来源
《International Conference on Mechatronics and Information Technology; 20071205-06; Gifu(JP)》|2007年|P.iv|共2页
会议地点 Gifu(JP)
作者
Yu Liu; Linqing Liao; Guangze Zheng; Guochao Wang; Hongyun Yang; Rui Xu;
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作者单位

Automobile College, Chongqing Institute of Technology, China 400050;

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
MEMS; microaccelerometer; optical excited; self-resonant; genetic algorithm;

机译：MEMS;微加速度计;光激发;自谐振;遗传算法;
入库时间 2022-08-26 13:52:10

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