National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD KT Consulting Inc., Antioch, CA;
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD;
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD KT Consulting Inc., Antioch, CA;
National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD;
scatterfield microscopy; conjugate back focal plane; angle resolved; illumination;
机译:使用非映像双信心为193nm散射域显微镜设计角度分辨照明光学元件的设计
机译:纳米级计量:散射场光学成像可实现10 nm以下的计量
机译:表征用于半导体计量学的散射场光学平台
机译:193 nm角度分辨的半导体计量散射场显微镜
机译:193nm准分子激光加工宽带隙半导体材料
机译:使用非成像双远心度设计用于193 nm散射场显微镜的角度分辨照明光学器件
机译:半导体计量学的显微镜物镜:小直径光学高性能系统安装技术的技术驱动器
机译:用于新型化合物半导体材料的纳米级成像和光谱的原位UHV低温弹道电子发射显微镜