フォルダブルディスプレイ用金属配線材料の特性評価

摘要

フレキシブルディスプレイは従来のフラットパネルディスプレイに対し、薄くて軽い、柔軟であるなどの特徴をもち、将来的に需要が高まると予想されている。フォルダブルディスプレイのLTPS TFTゲート配線には耐熟性、低電気抵抗率に加えて屈曲耐性も求められる。しかしながら従来用いられてきたMoなどの高融点金属は、半径1mmで屈曲すると断線してしまう。本研究では、過去にa-SiTFTに用いられた実績のあるAl-Nd合金について、屈曲後の電気抵抗上昇率を比較することにより屈曲耐性を評価した。その結果、Al-2.0および4.0 at% Nd合金薄膜がフォルダブルディスプレイ用金属配線材料として活用できる可能性を見出した。