積層メタル技術を用いたMEMS加速度センサの傾斜計応用の検討

摘要

傾斜計はロボット制御や人体の動き検知など、我々の身rnの回りで広く用いられている（1)。MEMS (microelectromechanical systems)技術を用いることでィ頃斜計を小型、rn低消費電力、低コストに実現できる(2)。 MEMS傾斜計は傾 斜による重力加速度の変化を測定するため、高感度な加速 度センサが必要である。本研究では、Auの積層メタル技術 により作製した高感度MEMS加速度センサ(3)を傾斜計に応 用するため、傾斜ノイズの理論解析及び評価を行った。