発振器型熱式マイクロ'フローセンサの検討

摘要

熱伝導の時間遅延を利用することで，熱応力や経時劣化 に起因する感度の変動の影響の抑制及び周波数出力であるrnことによるCPUとの接続容易性を狙った発振器型熱式マイrnクロ •フローセンサの検討を行うため，プロトタイプの設 計，試作を行い，自励発振回路に組み込んで評価を行った。rnSOI-MEMS技術によりヒータの両側の狭いギャップを介 して温度センサを配置した構成となっていて，DIP28セラ ミックパッケージに実装後，フローチャネルに装着して実 験を行った。