光干渉型表面応力センサのバイオ・化学センシングへの応用と差分測定に関する検討

摘要

本研究ではセンサと信号処理回路を集積し、エタノールrnを封止した測定を行った。また、外的ノイズの影響が少なrnい手法として、分子吸着による可動膜の変化量だけ検出可rn能な差分測定型光干渉表面応力センサを提案し、差分測定rnを行った。提案するセンサは信号変換効率が高く高感度なrnセンシングができる反面、課題として圧力変化や光源強度rnのドリフトに大きく依存してしまう。そこで、基準値と比rn較して入射光強度に依存しないセンシングができることをrn実証した。