光干渉型表面応力センサのバイオ?化学センシングへの応用と差分測定に関する検討

摘要

本研究ではセンサと信号処理回路を集積し、エタノール を封止した測定を行った。また、外的ノイズの影響が少な い手法として、分子吸着による可動膜の変化量だけ検出可 能な差分測定型光干渉表面応力センサを提案し、差分測定 を行った。提案するセンサは信号変換効率が高く高感度な センシングができる反面、課題として圧力変化や光源強度 のドリフトに大きく依存してしまう。そこで、基準値と比 較して入射光強度に依存しないセンシングができることを 実証した。