迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究

摘要

介绍了一种用于被测件表面形貌的测量分析系统,采用迈克尔逊显微干涉原理实现对表面形貌特征的快速、非接触测量,主要讨论了仪器的测量光路、横向工作台的粗、精两级驱动和信号的四细分处理,经实验证明:测量的相对误差为±0.39%.