薄シリコンピエゾ抵抗素子を用いたフレキシブルな圧力センサ

摘要

近年、センサの活用シーンは飛躍的に広がり、平面のみな らず様々な曲率の曲面にもセンサを固定する場面が増えて おり、フレキシブルな配線やセンサ素子の研究が盛んにおrnこなわれている（1)(2)。