Sub-10 nm patterning technique for site-controlled III-nitride quantum dot growth

机译：用于位置控制的III型氮化物量子点生长的亚10纳米构图技术

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《IEEE LEOS Annual Meeting Conference Proceedings;LEOS '09》|2009年|630-631|共2页
会议地点 Belek-Antalya(TR);Belek-Antalya(TR)
作者
Lee, L. K.; Ku, P. C.;
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作者单位

Department of Electrical Engineering and Computer Science University of Michigan 1301 Beal Ave. Ann Arbor 48109 USA;

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入库时间 2022-08-26 14:40:55

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