RD Infrastructure Program Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Hsin-Chu City, Taiwan 300, R.O.C;
Dept. of Industrial Engineering Management Ming Hsin University of Science and Technology Hsin-Chu County, Taiwan 304, R.O.C.;
Dept. of Industri;
机译:优先考虑晶圆制造设施中的生产和工程批次:模拟研究
机译:具有不确定晶圆批转移概率的晶圆制造系统的鲁棒产能计划
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