Center for X-Ray Optics, Lawrence Berkeley National Laboratory, Berkeley, CA 94720, USA;
Lawrence Livermore National Laboratory, Livermore, PO Box 808, CA 94550, USA;
SEMATECH, 2706 Montopolis Drive, Austin TX 78741, USA;
Carl Zeiss SMS, Industriestr. 1,;
extreme ultraviolet lithography; EUV; mask inspection; defect repair; actinic inspection;
机译:RESCAN:用于检查EUV标线缺陷的光化无透镜显微镜
机译:通过包含先前信息改进了EUV掩模的PTYChrapue检查
机译:仪器标线,用于EUV夹具的现场爆破检查
机译:修复天然EUV掩模版缺陷
机译:加州重型车辆检查计划:非舰队车辆和车队车辆。瑕疵估价不连续的二手市场;违规车辆:修理,更换或什么也不做
机译:保守的ATM激酶RAG2-S365磷酸化位点限制了单个细胞中的分裂事件而与任何修复缺陷无关
机译:EUV和非EUV检查掩模版缺陷修复网站
机译:EUV检查光罩缺陷修复站点