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Polycrystalline silicon porous silicon field emitter

机译:多晶硅多孔硅场发射器

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摘要

Abstract: In this research, we applied the physical and chemical characteristics of porous polysilicon to field emission. Porous polysilicon field emitter was fabricated by anodized, oxide, et al technology. Au film about 10 mm thickness as grid was used in device. Electron's emission property of device was measured in ultrahigh vacuum chamber. Also, the oxide time as effect factor to emission property was studied.!1
机译:摘要:在这项研究中,我们将多孔多晶硅的物理和化学特性应用于场发射。多孔多晶硅场发射极是通过阳极氧化,氧化物等技术制造的。在装置中使用了约10mm厚的作为栅格的Au膜。在超高真空室内测量器件的电子发射性能。此外,还研究了氧化时间作为影响发射性能的因素。1

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