IBM Microelectronics, Semiconductor R D Center, Hopewell Junction, NY 12533;
optical proximity correction; lithography; process window; DRAM;
机译:基于光学邻近效应校正的受限光学邻近效应校正模式生成-基于模型的光学邻近效应校正中的可制造性规则设计
机译:一种基于稀疏矩阵模型的光学邻近校正算法,在分段和控制点之间具有基于模型的映射
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机译:是基于模型的光学邻近校正,准备了制造吗?研究0.12um和0.175UM DRAM技术
机译:快速准确的光刻模拟和光学接近度校正,可用于制造的纳米设计
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机译:Doe Zero Energy Ready Home案例研究:southern Energy Homes - First Doe Zero Energy Ready manufactured Home,Russellville,al。