College of Electronic Science and Engineering, State Key Laboratory on integrated Optoelectronics, Jilin University, 119 Jiefang Road, Changchun 130023, China;
optical switches; micromirror; surface roughness; reflectivity;
机译:可调焦微反射镜:可变形微镜的设计和制造可行性
机译:飞秒激光制造高反射率微镜
机译:用于阳光反射器的柔性高反射微镜阵列的制造
机译:微机械光学开关中反射微镜的制造
机译:基于MEMS技术的可调谐光学微镜开关的分析,制造和性能测量。
机译:通过3D打印的反射光学元件进行偏振控制的3D光子晶体模板的灵活全息制作
机译:光学麦克风结合反射微镜和双芯准直器
机译:悬臂梁微机械开关的制作工艺