【24h】

Rings coded half tone masks for the fabrication of circular micro optical elements

机译:环形编码的半色调掩模,用于制造圆形微光学元件

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摘要

A new alternative coding method is proposed for the fabrication of circular diffractive optical elements with half tone masks, in which a series of rings with variant widths are used to produce desired gray distribution. Analytical analysis of this coding method is given and illustrated with numerical simulation examples.
机译:提出了一种新的替代编码方法,用于制造具有半色调掩模的圆形衍射光学元件,其中使用具有不同宽度的一系列环来产生所需的灰度分布。给出了这种编码方法的分析分析,并通过数值仿真示例进行了说明。

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