Department of Physics, Bilkent University, 06800 Ankara, Turkey;
PECVD; germanosilicate; FTIR; optical loss; prism coupling; optical waveguides;
机译:在低流量条件下为过程波分复用光波导装置制备的等离子体增强化学气相沉积氧化物
机译:液源等离子体增强化学气相沉积制备氮化硅波导的传输损耗特性
机译:无PDL的等离子体增强化学气相沉积SIC光波导和器件
机译:用于光波导的低损耗锗硅酸盐层的等离子体增强的化学气相沉积
机译:含有金属硼化物界面层的血浆增强化学气相沉积作为纳米钴金刚钴和WC-Co的纳米结构金刚石生长的扩散屏障
机译:使用埋入式通道设计提高等离子体增强化学气相沉积SiO2波导的环境稳定性
机译:等离子体增强化学气相沉积法,用于光波导的低损耗生长的锗硅酸盐层