PECVD; germanosilicate; FTIR; optical loss; prism coupling; optical waveguides;
机译:在低流量条件下为过程波分复用光波导装置制备的等离子体增强化学气相沉积氧化物
机译:等离子体增强化学气相沉积制备的单模SION / SIO2 / SI光学波导
机译:通过等离子体增强化学气相沉积法生长的自组装Ge纳米晶体层的结构和光学表征
机译:用于光波导的低损耗锗硅酸盐层的等离子体增强的化学气相沉积
机译:通过高压化学气相沉积和ZGP单晶的高压化学气相沉积和振动研究生长的氮化铟外膜的光学和结构性
机译:等离子体增强化学气相沉积中薄膜硅逐层生长的原因
机译:等离子体增强化学气相沉积法,用于光波导的低损耗生长的锗硅酸盐层