Institute for Laser Technology, Suita, Osaka 565-0871, Japan;
EUV source; laser-produced plasma; EUV spectra; conversion efficiency (CE);
机译:预脉冲激光波长对CO_2再加热激光产生的Sn等离子体的EUV发射的影响
机译:激光触发放电产生的锡等离子体EUV源放电后的间隙绝缘强度和EUV辐射恢复的研究
机译:用于HVM EUV光刻的激光生产的基于锡等离子体的EUV光源技术的开发
机译:等离子体动力学对激光辅助放电EUV排放的影响,生产Sn等离子体EUV源 - (PPT)
机译:Nd:YAG和CO2激光产生的锡等离子体的发射特性,可用于极端紫外光刻源的开发。
机译:基于辐射流体动力学模型的激光产生锡等离子体的EUV辐射演化分析
机译:EUV(极端超紫色)光源研究的现状和未来4.Aser产生的等离子体光源4.1激光产生的等离子体EUV源开发
机译:用于EUV光刻的激光产生等离子体的高级源研究