IBM T. J. Watson Research Center, Route 134, Yorktown Heights, NY 10598;
anti-reflective coating; ARC; BARC; Graded ARC; hard mask; deep trench; contacts; reflectivity; CD control; 193 nm resist; 248 nm resist; thin resist; PECVD; oxide etch;
机译:低电阻率无定形碳基薄膜,用作铜上的抗反射涂层
机译:双层抗反射涂层在硅衬底上两层抗反射涂层In2O3 /圆锥形Al2O3和三层抗反射涂层的特性及三层抗反射涂层
机译:了解界面附近光刻图案的偏差:底部抗反射涂层(BARC)和BARC抗蚀剂界面的表征
机译:Steven Welch,Ingrid Peterson,Oreste Donzella,Tony Dibiase,KLA-Tencor Corp对有机底部抗反射涂层(BARC)的工艺考虑对有机Botton抗反射涂层的工艺考虑BARC对前端和后端的优化离线整合
机译:电解喷射等离子体工艺在铝合金上薄等离子体电解质氧化(PEO)涂层的摩擦学性能
机译:含氟内置硬质氨基甲酸酯链段的涂料聚氨酯阳离子聚合物的合成与表征
机译:氧化铈纳米粒子的薄涂层,具有抗反射性能