Dongjin Semichem CO., Ltd, 625-3 Yodang-Ri, Yanggam-Myun, Hwasung-Si, Gyeonggi-Do, 445-931 KOREA;
Dongjin Semichem CO., Ltd, 625-3 Yodang-Ri, Yanggam-Myun, Hwasung-Si, Gyeonggi-Do, 445-931 KOREA;
Dongjin Semichem CO., Ltd, 625-3 Yodang-Ri, Yanggam-Myun, Hw;
molecular glass resists; line width roughness (LWR); line edge roughness (LER); resolution; x-ray reflectivity (XRR);
机译:化学放大抗蚀剂中产酸剂分布深度分布的X射线反射率研究
机译:用于EUV抗蚀剂厚度方向的化学分析的共振软X射线反射率
机译:共振软X射线反射率用于EUV抗蚀剂厚度方向的化学分析
机译:用X射线反射率分析抗蚀剂膜中的分子抗蚀剂分布
机译:单层组件中结构和反应性的研究:1.链烷硫醇盐自组装单层在Au上的臭氧分解。 2.超薄金膜的面内电阻率是一种高灵敏度的液-金属界面化学吸附分子区分探针。
机译:胶凝孔溶液的表达及其化学组成和电阻率的X射线荧光分析
机译:用于EUV抗蚀剂厚度方向的化学分析的共振软X射线反射率