导电性高分子上的抗蚀剂膜的剥离剂、抗蚀剂膜的剥离方法及具有已图案化的导电性高分子的基板

摘要

本发明的目的是提供从导电性高分子剥离抗蚀剂膜时不仅剥离性优异，且未对导电性高分子有不良影响的剥离剂，及提供导电性高分子上的抗蚀剂膜的剥离方法。另外，提供具有导电性良好、已图案化的导电性高分子的基板。本发明的导电性高分子上的抗蚀剂膜的剥离剂，其特征在于含有选自如下非质子性有机溶剂(a)和有机溶剂(b)中的至少一种有机溶剂：非质子性有机溶剂(a)为选自二烷基砜类、二烷基亚砜类、碳酸亚烃酯类及烷内酯类中且不含有氮原子的非质子性有机溶剂，有机溶剂(b)为化学结构中具有氮原子且为伯胺化合物、仲胺化合物及有机季铵盐以外的有机溶剂。