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Fixed Beam Moving Stage electron beam lithography of waveguide coupling device structures

机译：波导耦合器件结构的固定束移动台电子束光刻

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来源
《CLEO;Conference on Lasers and Electro-Optics》|2012年|p.1- 2|共2页
会议地点 San Jose, CA(US)
作者
Sanabia, Jason E.;
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作者单位

Raith USA Inc. 2805 Veterans Highway Suite 23 Ronkonkoma NY 11779;

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入库时间 2022-08-26 14:38:14

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