Si-Cr+Co溶媒からの高品質'高速SiC溶液成長

摘要

転位密度の低い高品質なSiC結晶成長を作製するうえで、溶液成長法は有望である が成長速度の向上が課題である。そのためにSi溶媒にCrなどの溶剤金属を添加[1]して炭素溶解度 を高める方法が用いられており、一方で安定した成長に向けてSi-Cr溶媒にAlを添加[2]するなど、 様々な金属を添加する方法が試行されている。我々はSi-Cr溶媒を中心に様々な溶媒の炭素溶解度 を実測し、Coを添加することで高い炭素溶解度を示すことを見い出している[3'4]。本研究では、 Si0.6Cr0.4およびCoを加えたSi0.56Cr0.4Co0.04の溶媒によるSiC溶液成長を行い、結晶の成長速度お よび表面状態の変化を検討した。