(S033)SiC 溶液成長時の成長界面に及ぼす Cr-Si 合金溶媒の熱伝導率の影響

摘要

パワーデバイス用の基盤材料として注目されるSiCの育成法として、溶液成長法が期待されている。この方法では成長界面が熱平衡に近いため原理的に高品質結晶を得やすい上に、Fe-SiやSi-Cr 合金を溶媒に用いた場合には高速成長も報告されている1,2)。