ディスプレイ用ガラス基板の現状と将来展望

摘要

液晶ディスプレイ(LCD)用のガラス基板は, 基板上に形成された薄膜トランジスタ(TFT)の特性と,その製造プロセスから要求される耐熱性・耐薬品性や平坦性から, a-Si TFTには無アルカリのアルミノ硼珪酸ガラスが用いられている.更に,軽量・薄板化対応のため, 低密度で高ヤング率のガラスが採用されている. LCD の高精細化に伴い,多結晶シリコン (poly-Si)TFTと酸化物半導体(例えばInGaZnO) TFT用は, a-Si TFTよりも高歪点のガラスが採用されている.有機ELディスプレイ(OLED)は,poly-Si TFTと酸化物半導体TFTが用いられ, ガラス組成はLCD用を踏襲しつつ, 表面清浄性(例えば低パーティクル密度)が高いガラス基板が求められている.