種々の表面処理によるSrTi0_3(001)の表面構造特性の変化

摘要

SrTiO_3(STO)はTiO_2層とSrO層が交互に重なっているぺロブスカイト構造をとつており、 STO(001)表面は熱処理や化学処理の条件によって、1×1、 2×1、 2×2、 c(4×2)、 c(6×2)などの再構成構造をとる。STOは高温超伝導膜のェピタキシャル成長用基板や酸化物エレクトロ 二クスの 基板などに利用されており基板の表面構造や電子状態が性能に大きく影響を与えるため、STO表 面の結晶構造や電子状態を把握することは重要である。そこで本研究では、高分解能中エネルギ ーイオン散乱(MEIS)と放射光光電子分光(PES)を用いて化学処理や加熱処理時の温度を変化させ たときのSTO(001)表面の変化を調べた。