塗布型n 型半導体の熱安定性評価

摘要

これまで我々はセキュリティデバイスに利用するための新規の塗布法の開発を行ってきた(第65 回応物春季18ｐ-D102-14)。本発表では塗布でも利用可能なn 型半導体で薄膜トランジスタを作製しその加熱安定性を評価した。この時封止膜の有無による違いも評価したので報告する。